中微公司晶圆刻蚀设备打破亚埃级精度 2024年营收同比增超44%

　　中微公司最新股价报184.36元，日内振幅2.51%，成交金额达10.89亿元。公司总市值维持在1147亿元规划，动态市盈率70.55倍。盘面多个方面数据显现，该股日内最高触及186.37元，最低探至181.75元，终究较前日微涨0.03%。

　　在SEMICON China 2025展会期间，中微公司正式对外发布自主研制的12英寸晶圆边际刻蚀设备Primo Halona。该设备是选用首创的LCC3D线圈规划，结合双反响台腔体结构，可将两个反响台之间的刻蚀精度控制在0.2埃，相当于硅原子直径的十分之一。公司另一款ICP双反响台刻蚀机Primo Twin-Star®已经过200片晶圆重复性测验，在氧化硅、氮化硅等资料的刻蚀工艺中完成亚埃级精度。成绩快报显现，公司2024年经营收入达90.65亿元，同比增加44.73%，刻蚀设备收入72.77亿元，同比增加54.73%。现在公司在研项目包含六大类设备，包含多款LPCVD和ALD薄膜设备新产品，硅和锗硅外延EPI设备行将投入商场验证。

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